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Entegris攜EUV、3D NAND等解決方案亮相2019年SEMICON China
出自:大半導體產業網

Entegris (納斯達克: ENTG)即將亮相3月20-22日于上海新國際博覽中心舉辦的2019年SEMICON China展覽會 (N5展館5331展位),并將展出諸多解決方案,包括潔凈化學品交付、EUV光罩儲存和運輸、晶圓傳送、工藝氣體純化、3D NAND材料與集成、汽車潛在缺陷檢測等,旨在為中國本土半導體制造企業在提升產能的關鍵時期解決產品良率、性能及可靠性等核心問題。

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Entegris還將在展會期間主辦首屆潔凈化學品交付論壇 (3月21日,N5展館M47會議室),推動中國化學品企業提升產品等級,開拓日益蓬勃的半導體市場。
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Entegris展出的主要解決方案:
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· 96層乃至更多:解決3D NAND材料與集成的挑戰
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· 潔凈化學品交付:保持潔凈化學品交付環節,確保材料純度,從而優化晶圓良率和可靠性
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文章收入時間: 2019-03-20
 
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