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賽默飛攜旗下最新半導體解決方案亮相SEMICON CHINA 2019
出自:大半導體產業網

致力提高工廠及分析性實驗室效率 助推中國半導體行業快速發展

賽默飛世爾科技亮相于上海舉辦的SEMICON CHINA 2019展會,現場發布展示了其最新一代的產品及半導體綜合解決方案,新品致力于提高工廠及分析性實驗室效率,進一步助力中國半導體事業的發展。
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賽默飛亮相SEMICON CHINA 2019展會現場
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自2014年6月《國家集成電路產業發展推進綱要》正式發布,中國的半導體行業拉開了高速發展的序幕。近年來,應用可編程芯片(FPGA)、人工智能云端以及邊緣運算端芯片等一系列前沿技術的半導體新產品開發正如火如荼地進行——半導體產業的技術節點也在不斷提高,實現更先進的制程工藝、更高的良率、更大的產能成為半導體行業迫切需要面對和解決的問題。賽默飛中國區總裁艾禮德(Tony Acciarito)表示:“新興技術市場趨勢以及政策支持正為中國半導體和電子科技產業帶來了前所未有的機遇,秉持‘扎根中國、服務中國’的發展戰略,我們期待利用自身在半導體行業的豐富經驗及優勢,攜手本土合作伙伴,共同推動中國半導產業的發展和創新。”
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在此次SEMICON CHINA 2019上,賽默飛從多個維度綜合展現了其在實驗室方案、失效分析、環境分析以及生產支持方面的綜合能力以及一體化解決方案。其中以Thermo Scientific? Helios 5為代表的一眾新品,也通過SEMICON CHINA 2019這個絕佳的平臺第一次在中國與業界的朋友們見面。
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Thermo Scientific? Helios 5
賽默飛首發推出最新一代Thermo Scientific? Helios 5,這款全新的先進的小型聚焦離子束掃描電子顯微鏡將用于納米材料的表征和分析。Helios 5產品系列的發布解決了目前越來越多的半導體技術挑戰,包括更小的幾何形狀,3D結構,新材料和大量的分析樣品以提高產量和根本原因分析。隨著半導體產業從7nm技術節點轉向5nm技術節點,Helios 5 TEM和Atom Probe樣品制備軟件提高對最先進的原子級的結構和成分信息的獲得能力。它可以在納米尺度上實現最高質量的表面和3D信息,并且可以最精確地定位感興趣的區域。


賽默飛最新一代Thermo Scientific? Helios 5
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Thermo Scientific? ELITE? 系統
近幾年來,半導體工業已經普遍接受使用ELITE (Enhanced Lock In Thermal Emission) 實現電性失效分析定位的工作。ELITE具有極佳的靈敏度,可以幫助傳統EMMI / OBIRCH 檢測的不足。ELITE 還可以作為非破壞性檢測,對于封裝后的元件,分析失效點深度的位置。除了先進制程和封裝的需求,針對功率元件在車用電子的應用,ELITE還支持高電壓的測試。


工程師現場講解及演示Thermo Scientific? ELITE? 系統
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Thermo Scientific? Nicolet? iG50 FT-IR 光譜儀
賽默飛Nicolet旗下 iS50/iG50 系列硅片分析系統為硅片的研究或者大規模制造的質量控制提供了靈活強大的解決方案。 Nicolet iS50/iG50 系列硅片分析系統主要可以應用于氧、碳含量分析以及外延層 (EPI) 厚度測量。除此之外,iS50/iG50還可以應用于鈍化層分析,例如:PSG、BSG、PBSG 中 PB 含量、Si中H的含量測定以及FSG。


Thermo Scientific? Nicolet? iG50

Thermo Scientific? Nicolet? iN10 光譜儀
賽默飛Nicolet旗下 iN10是一種直觀、創新、集成的一體化傅里葉變換顯微紅外光譜儀,具有安裝簡便、性能卓越、光譜質量高的特點。Nicolet iN10 顯微紅外光譜儀在半導體微電子領域主要應用于:固化膠的固化率測定、電子材料的分析與表征、顯示材料的剖析與表征以及異物分析。


Thermo Scientific? Nicolet? iN10

Thermo Scientific? iCAP? TQs ICP-MS

支持三重四極桿技術的 Thermo Scientific? iCAP? TQs ICP-MS 是一種高性能 ICP-MS,適用于在與半導體行業相關的多種挑戰性基質中進行痕量元素超痕量定量檢測。在不犧牲其作為靈敏、易用的工作臺儀器所具備的檢測能力的前提下,具有三重四極桿技術出色的干擾去除能力,可更好地對各種最具挑戰性的基質中的元素雜質進行檢測。由于 iCAP TQs ICP-MS 占地面積小,加上具有簡化的工作流程并支持自動化方法開發而特別易于使用,使其成為用于確保關鍵生產工藝一致性和提高半導體硅片加工產量而進行在線質量控制的理想檢查工具。


Thermo Scientific? iCAP? TQs ICP-MS
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Thermo Scientific? NESLAB ThermoFlex 系列
性能可靠的多用途制熱/冷卻恒溫循環器,可為需要的小型實驗室到大型工業過程,提供制熱/冷卻恒溫循環的關鍵應用,最高可達24000瓦的制熱/冷卻恒溫循環能力。本產品提供創新平臺,可配置的設計,易于操作,以及卓越的性能。


Thermo Scientific? NESLAB ThermoFlex
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Thermo Scientific? Phenom? ProX
Thermo Fisher Scientific 飛納臺式掃描電鏡是半導體行業中高效的檢測分析儀器。主要用于工業質量控制、缺陷分析和產品研發。可以選配 飛納自動傾斜旋轉樣品杯或 U 中心樣品杯觀察半導體樣品。通過傾斜旋轉樣品,能夠展現獨特的3D圖像,分析樣品上的隱藏特征,幫助用戶把控產品質量。


Thermo Scientific? Phenom? ProX
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展會現場,賽默飛展示了ELITE的實體機器并進行了DEMO演示,吸引了大批專業及相關人士的駐足了解問詢。數量眾多的同行以及訪客在展臺現場聆聽了現場工程師講解賽默飛在半導體行業的綜合解決方案,并共同分享探討了半導體行業內的前沿技術與最新市場動態。

 

 

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文章收入時間: 2019-03-25
 
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